{"id":16990,"date":"2022-10-06T23:38:45","date_gmt":"2022-10-06T21:38:45","guid":{"rendered":"https:\/\/www.m-q.ch\/?p=16990"},"modified":"2022-10-06T16:42:10","modified_gmt":"2022-10-06T14:42:10","slug":"un-nouvel-interferometre-differentiel-a-angle-de-trajet-pour-lavenir-de-lindustrie-des-semi-conducteurs","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/un-nouvel-interferometre-differentiel-a-angle-de-trajet-pour-lavenir-de-lindustrie-des-semi-conducteurs\/","title":{"rendered":"Nouvel interf\u00e9rom\u00e8tre diff\u00e9rentiel \u00e0 balayage angulaire : A la hauteur de l'avenir de l'industrie des semi-conducteurs"},"content":{"rendered":"
\n
\"\"
Les minuscules micropuces et les \u00e9crans g\u00e9ants 8K ont un point commun : lors de leur fabrication, il faut travailler avec des tol\u00e9rances de l'ordre du picom\u00e8tre, ce qui pousse sans cesse les m\u00e9thodes de mesure utilis\u00e9es aux limites de ce qui est techniquement r\u00e9alisable.
\n\u00a9 SIOS Messtechnik GmbH + \u00a9 nordroden - stock.adobe.com<\/figcaption><\/figure><\/p>\n

Souvent, les mesures ultrasensibles ne sont pas effectu\u00e9es dans des conditions de laboratoire id\u00e9ales, mais dans un environnement industriel, elles sont expos\u00e9es \u00e0 des influences environnementales perturbatrices qui faussent rapidement les r\u00e9sultats. C'est pourquoi le fabricant allemand SIOS Messtechnik GmbH d\u00e9veloppe des interf\u00e9rom\u00e8tres diff\u00e9rentiels de haute pr\u00e9cision dot\u00e9s de propri\u00e9t\u00e9s thermiques et physiques ultra-stables pour des applications telles que celles-ci : Les variations de param\u00e8tres tels que la temp\u00e9rature, la pression et l'humidit\u00e9 de l'air n'affectent pas la tr\u00e8s grande pr\u00e9cision de mesure, m\u00eame sur de longues p\u00e9riodes. Le nouvel interf\u00e9rom\u00e8tre diff\u00e9rentiel \u00e0 d\u00e9placement et angle, unique en son genre jusqu'\u00e0 pr\u00e9sent, allie ainsi les avantages des interf\u00e9rom\u00e8tres diff\u00e9rentiels \u00e0 ceux des interf\u00e9rom\u00e8tres \u00e0 trois faisceaux, qui ont fait leurs preuves, et permet pour la premi\u00e8re fois de saisir plusieurs degr\u00e9s de libert\u00e9 de mani\u00e8re \u00e0 la fois stable \u00e0 long terme et synchrone.<\/p>\n

Tol\u00e9rances de l'ordre du nanom\u00e8tre au picom\u00e8tre<\/h3>\n

\"La technologie d'affichage high-tech, dans laquelle un \u00e9cran dispose de plusieurs millions de pixels, illustre de mani\u00e8re exemplaire les d\u00e9fis actuels de la m\u00e9trologie industrielle et de l'industrie des semi-conducteurs\", explique le Dr Denis Dontsov, directeur de SIOS Messtechnik. \"L'exigence en mati\u00e8re de pr\u00e9cision de positionnement lors de ce que l'on appelle le stitching, c'est-\u00e0-dire la juxtaposition des diff\u00e9rentes structures au cours du processus de fabrication, est d'environ 45 nm par m\u00e8tre. Cet ordre de grandeur est comparable \u00e0 l'alignement parfait des noyaux de cerises sur la surface totale de la Thuringe (un peu plus de 16 200 km2, ndlr)\". La fabrication de semi-conducteurs doit faire face \u00e0 la m\u00eame probl\u00e9matique : Plus les puces deviennent compactes et performantes, plus les exigences de pr\u00e9cision de la photolithographie, \u00e9tape centrale de la fabrication, augmentent. Mais les mesures de l'indice de r\u00e9fraction dans l'industrie optique et les mesures de dilatation des mat\u00e9riaux exigent \u00e9galement des r\u00e9sultats de plus en plus pr\u00e9cis et n'autorisent plus que des tol\u00e9rances de l'ordre du nanom\u00e8tre, voire du picom\u00e8tre.<\/p>\n

Parall\u00e8lement, la complexit\u00e9 des diff\u00e9rentes t\u00e2ches de mesure augmente, comme par exemple les r\u00e9gulations de position des tables x-y, la saisie des dilatations thermiques des mat\u00e9riaux, les \u00e9tudes du comportement de fluage et de d\u00e9rive des objets, les mesures d'indice de r\u00e9fraction ainsi que les mesures de longueurs et d'angles de haute pr\u00e9cision. Le probl\u00e8me est que toutes ces mesures sont effectu\u00e9es dans des environnements de production qui ne peuvent pas offrir des conditions de laboratoire optimales. La technique utilis\u00e9e doit donc pouvoir compenser les influences environnementales fluctuantes telles que la temp\u00e9rature, la pression et l'humidit\u00e9 de l'air, sans fausser ses r\u00e9sultats, afin de permettre \u00e9galement une r\u00e9p\u00e9tabilit\u00e9 stable des mesures multiples. \u00c0 cette fin, SIOS utilise des interf\u00e9rom\u00e8tres diff\u00e9rentiels de haute pr\u00e9cision qui atteignent une stabilit\u00e9 25 fois sup\u00e9rieure \u00e0 celle des syst\u00e8mes de mesure comparables.<\/p>\n

Exigences de positionnement x-y ma\u00eetris\u00e9es<\/h3>\n

La demande croissante de solutions adapt\u00e9es, en particulier pour le positionnement x-y, a toutefois mis au d\u00e9fi le savoir-faire des sp\u00e9cialistes en technique de mesure de SIOS. Ainsi, des mesures stables \u00e0 long terme de plusieurs degr\u00e9s de libert\u00e9 devaient \u00eatre possibles simultan\u00e9ment sur de grandes distances. Pour y parvenir, ils ont combin\u00e9 leur interf\u00e9rom\u00e8tre \u00e0 trois faisceaux de haute pr\u00e9cision SP 5000 TR, con\u00e7u pour des mesures simultan\u00e9es de d\u00e9placement et d'angle, avec l'interf\u00e9rom\u00e8tre diff\u00e9rentiel SP 5000 DI afin de profiter de sa stabilit\u00e9 \u00e0 long terme. Avec l'interf\u00e9rom\u00e8tre diff\u00e9rentiel SP 5000 TR-DI, SIOS a ainsi d\u00e9velopp\u00e9 le seul syst\u00e8me au monde qui mesure le d\u00e9placement et l'angle de mani\u00e8re hautement synchrone \u00e0 l'aide de deux fois trois faisceaux laser et - gr\u00e2ce \u00e0 la compensation des facteurs environnementaux - de mani\u00e8re ultra-stable. \"Le nouveau SP 5000 TR-DI est d\u00e9sormais capable de d\u00e9tecter non seulement les mouvements les plus infimes, mais aussi les inclinaisons les plus petites sur des zones plus \u00e9tendues, sans que les r\u00e9sultats soient soumis aux influences thermiques et physiques de l'environnement\", explique le Dr Dontsov.<\/p>\n

\"\"
Interf\u00e9rom\u00e8tre laser \u00e0 trois faisceaux SP 5000 TR pour des mesures simultan\u00e9es et pr\u00e9cises de longueur, de tangage et d'angle de lacet.
\nSIOS Messtechnik GmbH<\/figcaption><\/figure>\n

Les interf\u00e9rom\u00e8tres diff\u00e9rentiels de d\u00e9placement et d'angle, \u00e0 la fois ultra-stables et rapides, disposent en outre d'un faisceau de r\u00e9f\u00e9rence pour chacun des trois faisceaux de mesure. \"Les six faisceaux laser au total sortent en parall\u00e8le de la t\u00eate du capteur et rencontrent un r\u00e9flecteur flexible et un r\u00e9flecteur statique. De cette mani\u00e8re, une grande partie de la distance entre l'interf\u00e9rom\u00e8tre et le lieu de mesure peut \u00eatre compens\u00e9e optiquement. La mesure proprement dite se concentre sur la diff\u00e9rence de longueur entre les faisceaux de mesure et de r\u00e9f\u00e9rence, de sorte que les influences environnementales susceptibles d'affecter le r\u00e9sultat ne peuvent agir que sur cette petite zone de mesure. Gr\u00e2ce \u00e0 la construction hautement sym\u00e9trique de la t\u00eate du capteur, il est donc possible de placer le capteur \u00e0 une plus grande distance de l'objet \u00e0 mesurer sans devoir s'accommoder de distorsions du r\u00e9sultat. De plus, tous les interf\u00e9rom\u00e8tres diff\u00e9rentiels sont \u00e9quip\u00e9s de capteurs stables \u00e0 long terme qui disposent d'une sensibilit\u00e9 \u00e0 la temp\u00e9rature de <20 nm\/K. La mesure de la temp\u00e9rature de l'air et de l'humidit\u00e9 de l'air est ainsi plus facile \u00e0 r\u00e9aliser.<\/p>\n

Des interf\u00e9rom\u00e8tres diff\u00e9rentiels parfaitement adapt\u00e9s \u00e0 de multiples t\u00e2ches de mesure<\/h3>\n

Pour les structures de mesure plus complexes et multiaxiales, il est possible de combiner plusieurs interf\u00e9rom\u00e8tres diff\u00e9rentiels et de les utiliser avec une seule unit\u00e9 de commande. Gr\u00e2ce aux aides optiques int\u00e9gr\u00e9es, l'alignement correct du dispositif de mesure s'effectue rapidement et facilement, m\u00eame sur plusieurs m\u00e8tres et axes. Gr\u00e2ce au principe modulaire, dans lequel les diff\u00e9rents composants et mod\u00e8les sont compatibles entre eux, SIOS peut g\u00e9n\u00e9ralement r\u00e9agir de mani\u00e8re flexible aux t\u00e2ches de mesure individuelles et adapter en peu de temps les optiques, le mat\u00e9riel ou les interfaces \u00e0 l'application sp\u00e9cifique. \"Il ne s'agit pas toujours de solutions isol\u00e9es : Comme le nouvel interf\u00e9rom\u00e8tre de d\u00e9placement angulaire SP 5000 TR-DI, une grande partie de notre gamme de produits a \u00e9t\u00e9 cr\u00e9\u00e9e sur la base de demandes individuelles de clients\", r\u00e9sume le Dr Dontsov. n<\/p>\n<\/section>\n

\n
\n

SIOS Messtechnik GmbH<\/h3>\n

La soci\u00e9t\u00e9 SIOS Messtechnik GmbH, dont le si\u00e8ge se trouve \u00e0 Ilmenau, en Thuringe, a \u00e9t\u00e9 fond\u00e9e en 1991. Les points forts de l'entreprise se situent dans les domaines de la m\u00e9trologie de pr\u00e9cision, de l'\u00e9talonnage et du calibrage, de la construction m\u00e9canique pour la mesure ou le positionnement pr\u00e9cis, de l'industrie optique, de l'industrie des semi-conducteurs, de la technique m\u00e9dicale, de la nanotechnique de mesure et des g\u00e9osciences. Le principe de mesure interf\u00e9rom\u00e9trique constitue principalement la base des syst\u00e8mes de mesure fabriqu\u00e9s par l'entreprise.<\/p>\n

>www.sios-precision.com<\/a><\/p>\n<\/blockquote>\n<\/section>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Souvent, les mesures ultrasensibles ne sont pas effectu\u00e9es dans des conditions de laboratoire id\u00e9ales, mais dans un environnement industriel, elles sont expos\u00e9es \u00e0 des influences environnementales perturbatrices qui faussent rapidement les r\u00e9sultats. C'est pourquoi le fabricant allemand SIOS Messtechnik GmbH d\u00e9veloppe des interf\u00e9rom\u00e8tres diff\u00e9rentiels de haute pr\u00e9cision dot\u00e9s de propri\u00e9t\u00e9s thermiques et physiques ultra-stables pour des applications telles que celles-ci : Des param\u00e8tres fluctuants tels que la temp\u00e9rature, la pression et l'humidit\u00e9 atmosph\u00e9riques affectent les tr\u00e8s [...]<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":16991,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[3303],"tags":[5324,5202,3559,3327],"class_list":["post-16990","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-qualitaetsmanagement","tag-ausgabe-9-10-2022","tag-halbleitertechnologie","tag-messtechnik","tag-qualitaetsmanagement"],"acf":[],"yoast_head":"\nNeues Weg-Winkel-Differenzinterferometer:\u00a0Der Zukunft der Halbleiterindustrie gewachsen - MQ Management und Qualit\u00e4t<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"Messverfahren werden immer wieder an die Grenzen des technisch Machbaren gedr\u00e4ngt. Ein neues Differenzinterferometer setzt Massst\u00e4be.\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/un-nouvel-interferometre-differentiel-a-angle-de-trajet-pour-lavenir-de-lindustrie-des-semi-conducteurs\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"fr_FR\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"Neues Weg-Winkel-Differenzinterferometer:\u00a0Der Zukunft der Halbleiterindustrie gewachsen - MQ Management und Qualit\u00e4t\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"Messverfahren werden immer wieder an die Grenzen des technisch Machbaren gedr\u00e4ngt. Ein neues Differenzinterferometer setzt Massst\u00e4be.\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/un-nouvel-interferometre-differentiel-a-angle-de-trajet-pour-lavenir-de-lindustrie-des-semi-conducteurs\/\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"MQ Management und Qualit\u00e4t\" \/>\n<meta property=\"article:publisher\" content=\"https:\/\/www.facebook.com\/ManagementUndQualitaet\" \/>\n<meta property=\"article:published_time\" content=\"2022-10-06T21:38:45+00:00\" \/>\n<meta property=\"og:image\" content=\"https:\/\/www.m-q.ch\/wp-content\/uploads\/2022\/09\/MQ-Management-Qualitaet-Neues-Weg-Winkel-Differenzinterferometer-Der-Zukunft-der-Halbleiterindustrie-gewachsen.jpg\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:width\" content=\"1000\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:height\" content=\"600\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:type\" content=\"image\/jpeg\" \/>\n<meta name=\"author\" content=\"galledia\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"\u00c9crit par\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"galledia\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:label2\" content=\"Dur\u00e9e de lecture estim\u00e9e\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data2\" content=\"4 minutes\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\/\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"Article\",\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/#article\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/\"},\"author\":{\"name\":\"galledia\",\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#\/schema\/person\/c0139a2c55a374db6df2cde78ec87148\"},\"headline\":\"Neues Weg-Winkel-Differenzinterferometer:\u00a0Der Zukunft der Halbleiterindustrie gewachsen\",\"datePublished\":\"2022-10-06T21:38:45+00:00\",\"mainEntityOfPage\":{\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/\"},\"wordCount\":890,\"publisher\":{\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#organization\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/wp-content\/uploads\/2022\/09\/MQ-Management-Qualitaet-Neues-Weg-Winkel-Differenzinterferometer-Der-Zukunft-der-Halbleiterindustrie-gewachsen.jpg\",\"keywords\":[\"Ausgabe 9-10\/2022\",\"Halbleitertechnologie\",\"Messtechnik\",\"Qualit\u00e4tsmanagement\"],\"articleSection\":[\"Qualit\u00e4tsmanagement\"],\"inLanguage\":\"fr-FR\"},{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/\",\"url\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/\",\"name\":\"Neues Weg-Winkel-Differenzinterferometer:\u00a0Der Zukunft der Halbleiterindustrie gewachsen - MQ Management und Qualit\u00e4t\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#website\"},\"primaryImageOfPage\":{\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/#primaryimage\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/wp-content\/uploads\/2022\/09\/MQ-Management-Qualitaet-Neues-Weg-Winkel-Differenzinterferometer-Der-Zukunft-der-Halbleiterindustrie-gewachsen.jpg\",\"datePublished\":\"2022-10-06T21:38:45+00:00\",\"description\":\"Messverfahren werden immer wieder an die Grenzen des technisch Machbaren gedr\u00e4ngt. Ein neues Differenzinterferometer setzt Massst\u00e4be.\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"fr-FR\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/\"]}]},{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"fr-FR\",\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/#primaryimage\",\"url\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/wp-content\/uploads\/2022\/09\/MQ-Management-Qualitaet-Neues-Weg-Winkel-Differenzinterferometer-Der-Zukunft-der-Halbleiterindustrie-gewachsen.jpg\",\"contentUrl\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/wp-content\/uploads\/2022\/09\/MQ-Management-Qualitaet-Neues-Weg-Winkel-Differenzinterferometer-Der-Zukunft-der-Halbleiterindustrie-gewachsen.jpg\",\"width\":1000,\"height\":600,\"caption\":\"Winzige Mikrochips und riesige 8K-Displays haben eines gemeinsam: Bei ihrer Herstellung muss mit Toleranzen im Pikometerbereich gearbeitet werden, was die eingesetzten Messverfahren immer wieder an die Grenzen des technisch Machbaren dr\u00e4ngt. \u00a9 SIOS Messtechnik GmbH + \u00a9 nordroden \u2013 stock.adobe.com\"},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"Qualit\u00e4tsmanagement\",\"item\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/kategorie\/qualitaetsmanagement\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"Neues Weg-Winkel-Differenzinterferometer:\u00a0Der Zukunft der Halbleiterindustrie gewachsen\"}]},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#website\",\"url\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/\",\"name\":\"MQ Management und Qualit\u00e4t\",\"description\":\"Plattform f\u00fcr integrierte Managementsysteme.\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#organization\"},\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":{\"@type\":\"PropertyValueSpecification\",\"valueRequired\":true,\"valueName\":\"search_term_string\"}}],\"inLanguage\":\"fr-FR\"},{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#organization\",\"name\":\"Galledia Fachmedien AG\",\"url\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/\",\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"fr-FR\",\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#\/schema\/logo\/image\/\",\"url\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/wp-content\/uploads\/2020\/12\/cropped-logo_small.png\",\"contentUrl\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/wp-content\/uploads\/2020\/12\/cropped-logo_small.png\",\"width\":512,\"height\":512,\"caption\":\"Galledia Fachmedien AG\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#\/schema\/logo\/image\/\"},\"sameAs\":[\"https:\/\/www.facebook.com\/ManagementUndQualitaet\",\"https:\/\/www.linkedin.com\/showcase\/17982321\/admin\/\"]},{\"@type\":\"Person\",\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#\/schema\/person\/c0139a2c55a374db6df2cde78ec87148\",\"name\":\"galledia\",\"image\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"fr-FR\",\"@id\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#\/schema\/person\/image\/\",\"url\":\"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/66edf527eac29e9a5eb25bcada01f61a?s=96&d=mm&r=g\",\"contentUrl\":\"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/66edf527eac29e9a5eb25bcada01f61a?s=96&d=mm&r=g\",\"caption\":\"galledia\"},\"url\":\"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/author\/galledia\/\"}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"Nouvel interf\u00e9rom\u00e8tre diff\u00e9rentiel \u00e0 balayage angulaire : A la hauteur de l'avenir de l'industrie des semi-conducteurs - MQ Management et Qualit\u00e9","description":"Les m\u00e9thodes de mesure sont sans cesse pouss\u00e9es aux limites de ce qui est techniquement r\u00e9alisable. Un nouvel interf\u00e9rom\u00e8tre diff\u00e9rentiel pose des jalons.","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/un-nouvel-interferometre-differentiel-a-angle-de-trajet-pour-lavenir-de-lindustrie-des-semi-conducteurs\/","og_locale":"fr_FR","og_type":"article","og_title":"Neues Weg-Winkel-Differenzinterferometer:\u00a0Der Zukunft der Halbleiterindustrie gewachsen - MQ Management und Qualit\u00e4t","og_description":"Messverfahren werden immer wieder an die Grenzen des technisch Machbaren gedr\u00e4ngt. Ein neues Differenzinterferometer setzt Massst\u00e4be.","og_url":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/un-nouvel-interferometre-differentiel-a-angle-de-trajet-pour-lavenir-de-lindustrie-des-semi-conducteurs\/","og_site_name":"MQ Management und Qualit\u00e4t","article_publisher":"https:\/\/www.facebook.com\/ManagementUndQualitaet","article_published_time":"2022-10-06T21:38:45+00:00","og_image":[{"width":1000,"height":600,"url":"https:\/\/www.m-q.ch\/wp-content\/uploads\/2022\/09\/MQ-Management-Qualitaet-Neues-Weg-Winkel-Differenzinterferometer-Der-Zukunft-der-Halbleiterindustrie-gewachsen.jpg","type":"image\/jpeg"}],"author":"galledia","twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"\u00c9crit par":"galledia","Dur\u00e9e de lecture estim\u00e9e":"4 minutes"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"Article","@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/#article","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/"},"author":{"name":"galledia","@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#\/schema\/person\/c0139a2c55a374db6df2cde78ec87148"},"headline":"Neues Weg-Winkel-Differenzinterferometer:\u00a0Der Zukunft der Halbleiterindustrie gewachsen","datePublished":"2022-10-06T21:38:45+00:00","mainEntityOfPage":{"@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/"},"wordCount":890,"publisher":{"@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#organization"},"image":{"@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.m-q.ch\/wp-content\/uploads\/2022\/09\/MQ-Management-Qualitaet-Neues-Weg-Winkel-Differenzinterferometer-Der-Zukunft-der-Halbleiterindustrie-gewachsen.jpg","keywords":["Ausgabe 9-10\/2022","Halbleitertechnologie","Messtechnik","Qualit\u00e4tsmanagement"],"articleSection":["Qualit\u00e4tsmanagement"],"inLanguage":"fr-FR"},{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/","url":"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/","name":"Nouvel interf\u00e9rom\u00e8tre diff\u00e9rentiel \u00e0 balayage angulaire : A la hauteur de l'avenir de l'industrie des semi-conducteurs - MQ Management et Qualit\u00e9","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#website"},"primaryImageOfPage":{"@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/#primaryimage"},"image":{"@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.m-q.ch\/wp-content\/uploads\/2022\/09\/MQ-Management-Qualitaet-Neues-Weg-Winkel-Differenzinterferometer-Der-Zukunft-der-Halbleiterindustrie-gewachsen.jpg","datePublished":"2022-10-06T21:38:45+00:00","description":"Les m\u00e9thodes de mesure sont sans cesse pouss\u00e9es aux limites de ce qui est techniquement r\u00e9alisable. Un nouvel interf\u00e9rom\u00e8tre diff\u00e9rentiel pose des jalons.","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/#breadcrumb"},"inLanguage":"fr-FR","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/"]}]},{"@type":"ImageObject","inLanguage":"fr-FR","@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/#primaryimage","url":"https:\/\/www.m-q.ch\/wp-content\/uploads\/2022\/09\/MQ-Management-Qualitaet-Neues-Weg-Winkel-Differenzinterferometer-Der-Zukunft-der-Halbleiterindustrie-gewachsen.jpg","contentUrl":"https:\/\/www.m-q.ch\/wp-content\/uploads\/2022\/09\/MQ-Management-Qualitaet-Neues-Weg-Winkel-Differenzinterferometer-Der-Zukunft-der-Halbleiterindustrie-gewachsen.jpg","width":1000,"height":600,"caption":"Winzige Mikrochips und riesige 8K-Displays haben eines gemeinsam: Bei ihrer Herstellung muss mit Toleranzen im Pikometerbereich gearbeitet werden, was die eingesetzten Messverfahren immer wieder an die Grenzen des technisch Machbaren dr\u00e4ngt. \u00a9 SIOS Messtechnik GmbH + \u00a9 nordroden \u2013 stock.adobe.com"},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/neues-weg-winkel-differenzinterferometer-der-zukunft-der-halbleiterindustrie-gewachsen\/#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"Qualit\u00e4tsmanagement","item":"https:\/\/www.m-q.ch\/kategorie\/qualitaetsmanagement\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"Neues Weg-Winkel-Differenzinterferometer:\u00a0Der Zukunft der Halbleiterindustrie gewachsen"}]},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#website","url":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/","name":"Gestion et qualit\u00e9 du QM","description":"Plate-forme pour les syst\u00e8mes de gestion int\u00e9gr\u00e9e.","publisher":{"@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#organization"},"potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/?s={search_term_string}"},"query-input":{"@type":"PropertyValueSpecification","valueRequired":true,"valueName":"search_term_string"}}],"inLanguage":"fr-FR"},{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#organization","name":"Galledia Trade Media AG","url":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/","logo":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"fr-FR","@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#\/schema\/logo\/image\/","url":"https:\/\/www.m-q.ch\/wp-content\/uploads\/2020\/12\/cropped-logo_small.png","contentUrl":"https:\/\/www.m-q.ch\/wp-content\/uploads\/2020\/12\/cropped-logo_small.png","width":512,"height":512,"caption":"Galledia Fachmedien AG"},"image":{"@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#\/schema\/logo\/image\/"},"sameAs":["https:\/\/www.facebook.com\/ManagementUndQualitaet","https:\/\/www.linkedin.com\/showcase\/17982321\/admin\/"]},{"@type":"Person","@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#\/schema\/person\/c0139a2c55a374db6df2cde78ec87148","name":"galledia","image":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"fr-FR","@id":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/#\/schema\/person\/image\/","url":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/66edf527eac29e9a5eb25bcada01f61a?s=96&d=mm&r=g","contentUrl":"https:\/\/secure.gravatar.com\/avatar\/66edf527eac29e9a5eb25bcada01f61a?s=96&d=mm&r=g","caption":"galledia"},"url":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/author\/galledia\/"}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/16990","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=16990"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/16990\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":17023,"href":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/16990\/revisions\/17023"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media\/16991"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=16990"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=16990"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.m-q.ch\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=16990"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}